檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "黃柏仁".ccommittee (精準) and cadvisor.raw="周振嘉"
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本研究目的在於設計一陶瓷膜取代LIGA製程中所使用的高分子光阻,實驗初期以薄膜電阻率為首要考量條件,篩選現有的商用陶瓷鍍層,並選用薄膜電阻率最高的氮氧化鈦薄膜與次高的碳氮化鉻薄膜作為取代高分子光阻之…
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本研究利用磁控濺鍍技術,製備釔安定氧化鋯(8YSZ)薄膜於不同基板上,並觀察不同製程條件下對電性變化的影響,8YSZ薄膜是否具備高離子導電效率的議題一直以來備受爭議,本文利用不同疊構設計來確認8YS…